Atomrock 在 Computex Taipei 2026(6 月 2–5 日,台北南港展覽館 1 館 4 樓 N1329 號展位)展出,這套邊緣 AOI 方案於展中首度公開亮相。配合展期,台灣產業媒體也同步聚焦此一成果。
工業技術研究院(ITRI)的技術刊物《機械工業雜誌》於 2026 年 6 月 3 日以焦點報導刊出 Atomrock 的邊緣 AOI 成果:〈邊緣 AOI 走進晶圓濕製程機台 把瑕疵反應週期從一小時壓縮到一分鐘〉。
透過將邊緣視覺 AI 內建至 spin chamber,系統於製程中對每片晶圓連續取像,並於邊緣端進行多模型推論,鎖定晶圓表面殘留、liquid pooling、邊緣 bevel 異常、wafer wobble,以及 dispenser 噴嘴出液角度漂移、suck-back 等多項瑕疵型態。瑕疵反應週期因此從以往的 30 至 60 分鐘壓縮至 1 分鐘內,問題批次的影響範圍也從數十片以上收斂至事件當片。當製程切換到新的化學配方或新的 wafer layer,模型可於 24 至 48 小時內完成重新訓練並上線,且不需將晶圓影像帶離廠區,符合資料治理(data sovereignty)要求。VisionSense 完成瑕疵分類後,會依嚴重度標籤(critical / major / minor)標記事件。
完整報導請見《機械工業雜誌》:automan.tw。