Atomrock は Computex Taipei 2026(6 月 2–5 日、台北南港展覧館 1 号館 4 階 N1329 ブース)に出展中で、このエッジ AOI ソリューションを同展で初公開します。開催に合わせ、台湾の産業メディアも本成果を取り上げています。
工業技術研究院(ITRI)の技術誌『機械工業雑誌』は 2026 年 6 月 3 日、特集記事で Atomrock のエッジ AOI の取り組みを取り上げました:「エッジ AOI がウェハー湿式プロセス装置へ:欠陥対応サイクルを 1 時間から 1 分へ短縮」。
エッジビジョン AI を spin chamber に組み込むことで、プロセス中に各ウェハーを連続撮像し、エッジ側でマルチモデル推論を実行:ウェハー表面残渣、liquid pooling、エッジ bevel の異常、wafer wobble、dispenser ノズルの吐出角度ドリフトや suck-back などの欠陥を捉えます。これにより欠陥対応サイクルは従来の 30〜60 分から 1 分以内へ短縮され、不良ロットの影響範囲も数十枚以上から当該ウェハーのみに抑えられます。新しいレシピや wafer layer に切り替わった際も、ウェハー画像を工場外に持ち出すことなく 24〜48 時間以内にモデルを再学習・運用でき、データ主権(data sovereignty)の要件を満たします。VisionSense は欠陥を重大度ラベル(critical / major / minor)で分類します。
記事全文は『機械工業雑誌』をご覧ください:automan.tw。