Atomrock は Computex Taipei 2026(6 月 2–5 日、台北南港展覧館 1 号館 4 階 N1329 ブース)に出展中で、このエッジ AOI ソリューションを同展で初公開。Atomrock・頂程國際・AgilePoint が統合システムを現地で実演しています。開催に合わせ、台湾の産業メディアも本成果を取り上げています。
工業技術研究院(ITRI)の技術誌『機械工業雑誌』は 2026 年 6 月 3 日、特集記事で Atomrock のエッジ AOI の取り組みを取り上げました:「エッジ AOI がウェハー湿式プロセス装置へ:欠陥対応サイクルを 1 時間から 1 分へ短縮」。
記事では三社統合ソリューションを紹介しています。Atomrock の VisionSense ビジョン AI エンジン、台湾の半導体湿式プロセス装置インテグレーター 頂程國際(Ding Cheng International, DCI)の湿式プロセス装置、そして AgilePoint のエージェント AI プラットフォームで構成され、Computex Taipei 2026 に合わせて発表されます。DCI の SEMI 認証取得済み VENUS 1(T21)枚葉式エッチング洗浄装置に組み込めるほか、SEZ・DNS・KAIJO など既存装置の retrofit 改修キットとしても利用できます。
エッジビジョン AI を spin chamber に組み込むことで、プロセス中に各ウェハーを連続撮像し、エッジ側でマルチモデル推論を実行:ウェハー表面残渣、liquid pooling、エッジ bevel の異常、wafer wobble、dispenser ノズルの吐出角度ドリフトや suck-back などの欠陥を捉えます。これにより欠陥対応サイクルは従来の 30〜60 分から 1 分以内へ短縮され、不良ロットの影響範囲も数十枚以上から当該ウェハーのみに抑えられます。新しいレシピや wafer layer に切り替わった際も、ウェハー画像を工場外に持ち出すことなく 24〜48 時間以内にモデルを再学習・運用でき、データ主権(data sovereignty)の要件を満たします。
検知の次は意思決定です。VisionSense は欠陥分類後、重大度ラベル(critical / major / minor)に応じてイベントを AgilePoint AI Control Tower に送り、事前定義ルールに基づいてシステム横断のビジネス判断を自動実行します:致命的な欠陥は即座に lot hold と 8D フローを起動して QA へ通知し、軽微な欠陥はトレンド記録を作成、すべて run-time governance のもとで実行され、各判断は追跡可能で、ISO 9001 および IATF 16949 に準拠します。
記事全文は『機械工業雑誌』をご覧ください:automan.tw。